25張圖直觀看懂(dǒng)從石英砂到芯片全過程
現代生活中,人(rén)們已被各種電子設備圍繞,手機、電腦(nǎo)、電視……那麽,這(zhè)些電子設備是靠什(shén)麽運作的(de)呢(ne)?
答(dá)案就是芯片!簡單來(lái)說,芯片之于電子設備的(de)地位等同于發動機之于汽車,而制備芯片的(de)原材料,就是最普通(tōng)不過的(de)石英砂。下(xià)面,我們就來(lái)看一看,石英砂是怎麽變成芯片的(de)?
1.石英砂
矽是地殼内第二豐富的(de)元素,而脫氧後的(de)沙子(尤其是石英)最多(duō)包含25%的(de)矽元素,以二氧化(huà)矽(SiO2)的(de)形式存在,這(zhè)也(yě)是半導體制造産業的(de)基礎。
2.矽熔煉
12英寸/300毫米晶圓級,通(tōng)過多(duō)步淨化(huà)得(de)到可(kě)用(yòng)于半導體知道質量的(de)矽,學名電子級矽(EGS),平均每一百萬個(gè)矽原子中最多(duō)隻有一個(gè)雜(zá)質原子。下(xià)圖展示的(de)是如何通(tōng)過矽淨化(huà)熔煉得(de)到大(dà)晶體的(de),最後得(de)到的(de)就是矽錠(ingot)。
3.單晶矽錠
整體基本呈圓柱形,重約100千克,矽純度 99.9999%。
4.矽錠切割
橫向切割成圓形的(de)單個(gè)矽片,也(yě)就是我們常說的(de)晶圓 (Wafer)。順便說,這(zhè)下(xià)知道爲什(shén)麽晶圓都是圓形的(de)了(le)吧?
5.晶圓
切割出的(de)是晶圓經過抛光(guāng)後變得(de)幾乎完美(měi)無瑕,表面甚至可(kě)以當鏡子。事實上,intel自己并不生産這(zhè)種晶圓,而是從第三方半導體企業那裏直接購(gòu)買成品,然後利用(yòng)直接的(de)生産線進一步加工,比如現在主流的(de)45nm HKMG(高(gāo)K金屬柵極)。值得(de)一提的(de)是,intel公司創立之初使用(yòng)的(de)晶圓尺寸隻有2英寸/50毫米。
6.光(guāng)刻膠(Photo Resist)
下(xià)圖中藍色部分(fēn)就是在晶圓旋轉過程中澆上去的(de)光(guāng)刻膠液體,類似制作傳統膠片的(de)那種。晶圓旋轉可(kě)以讓光(guāng)刻膠鋪的(de)非常薄、非常平。
光(guāng)刻一:光(guāng)刻膠層随後透過掩模(Mask)被曝光(guāng)在紫外線(UV)之下(xià),變得(de)可(kě)溶,期間發生的(de)化(huà)學反應類似按下(xià)機械相機快(kuài)門那一刻膠片的(de)變化(huà)。掩模上印著(zhe)預 先設計好的(de)電路圖案,紫外線透過它照(zhào)在光(guāng)刻膠層上,就會形成微處理(lǐ)器的(de)每一層電路圖案。一般來(lái)說,在晶圓上得(de)到的(de)電路圖案是掩模上圖案的(de)四分(fēn)之一。
光(guāng)刻二:由此進入納米尺寸的(de)晶體管級别。一塊晶圓上可(kě)以切割出數百個(gè)處理(lǐ)器,不過從這(zhè)裏開始把視野縮小到其中一個(gè)上,展示如何制作晶體管等部件。晶體管相當于開關,控制著(zhe)電流的(de)方向。現在的(de)晶體管已經如此之小,一個(gè)針頭上就能放下(xià)大(dà)約3000萬個(gè)。
7.溶解光(guāng)刻膠
光(guāng)刻過程中曝光(guāng)在紫外線下(xià)的(de)光(guāng)刻膠被溶解掉,清除後留下(xià)的(de)圖案和(hé)掩模上的(de)一緻。
8.蝕刻
使用(yòng)化(huà)學物(wù)質溶解掉暴露出來(lái)的(de)晶圓部分(fēn),而剩下(xià)的(de)光(guāng)刻膠保護著(zhe)不應該蝕刻的(de)部分(fēn)。
9.清除光(guāng)刻膠
蝕刻完成後,光(guāng)刻膠的(de)使命宣告完成,全部清除後就可(kě)以看到設計好的(de)電路圖案。
10.光(guāng)刻膠
再次澆上光(guāng)刻膠(藍色部分(fēn)),然後光(guāng)刻,并洗掉曝光(guāng)的(de)部分(fēn),剩下(xià)的(de)光(guāng)刻膠還(hái)是用(yòng)來(lái)保護不會離子注入的(de)那部分(fēn)材料。
11.離子注入(ion implantation)
在真空系統中,用(yòng)經過加速的(de),要摻雜(zá)的(de)院子的(de)離子照(zhào)射(注入)固體材料,從而在被注入的(de)區(qū)域形成特殊的(de)注入層,并改變這(zhè)些區(qū)域的(de)矽的(de)導電性。經過電場(chǎng)加速後,注入的(de)離子流的(de)速度可(kě)以超過30萬千米每小時(shí)。
12.清除光(guāng)刻膠
離子注入完成後,光(guāng)刻膠也(yě)被清除,而注入區(qū)域(綠色部分(fēn))也(yě)已摻雜(zá),注入了(le)不同的(de)原子。注意這(zhè)時(shí)候的(de)綠色和(hé)之前已經有所不同。
13.晶體管就緒
至此,晶體管已經基本完成。在絕緣材(品紅色)上蝕刻出三個(gè)孔洞,并填充銅,以便和(hé)其它晶體管互連。
14.電鍍
在晶圓上電鍍一層硫酸銅,将銅離子沉澱到晶體管上。銅離子會從正極走向負極。
15.銅層
電鍍完成後,銅離子沉積在晶圓表面,形成一個(gè)薄薄的(de)銅層。
16.抛光(guāng)
将多(duō)餘的(de)銅抛光(guāng)掉,也(yě)就是磨光(guāng)晶圓表面。
17.金屬層
晶體管級别,留個(gè)晶體管的(de)組合,大(dà)約500納米。在不同晶體管之間形成複合互連金屬層,具體布局取決于相應處理(lǐ)器所需要的(de)不同功能性。芯片表面看起來(lái)異常平滑,但事實上可(kě)能包含20多(duō)層複雜(zá)的(de)電路,放大(dà)之後可(kě)以看到極其複雜(zá)的(de)電路網絡,形如未來(lái)派的(de)多(duō)層高(gāo)速公路系統。
18.晶圓測試
内核級别,大(dà)約10毫米/0.5英寸。圖中是晶圓的(de)局部,正在接受第一次功能性測試,使用(yòng)參考電路圖案和(hé)每一塊芯片進行對(duì)比。
19.晶圓切片(Slicing)
晶圓級别,300毫米/12英寸。将晶圓切割成塊,每一塊就是一個(gè)處理(lǐ)器的(de)内核(Die)。
20.丢棄瑕疵内核
晶圓級别。測試過程中發現的(de)有瑕疵的(de)内核被抛棄,留下(xià)完好的(de)準備進入下(xià)一步。
21.單個(gè)内核
内核級别。從晶圓上切割下(xià)來(lái)的(de)單個(gè)内核,這(zhè)裏展示的(de)是Core i7的(de)核心。
22.封裝
封裝級别,20毫米/1英寸。襯底、内核、散熱(rè)片堆疊在一起,就形成了(le)我們看到的(de)處理(lǐ)器的(de)樣子。襯底相當于一個(gè)底座,并爲處理(lǐ)器内核提供電氣與機械界面,便于與PC系統的(de)其它部分(fēn)交互。散熱(rè)片就是負責内核散熱(rè)的(de)了(le)。
23.處理(lǐ)器
至此就得(de)到完整的(de)處理(lǐ)器了(le)(這(zhè)裏是一顆Core i7)。這(zhè)種在世界上最幹淨的(de)房(fáng)間裏制造出來(lái)的(de)最複雜(zá)的(de)産品實際上是經過數百個(gè)步驟得(de)來(lái)的(de),這(zhè)裏隻是展示了(le)其中的(de)一些關鍵步驟。
24.等級測試
最後一次測試,可(kě)以鑒别出每一顆處理(lǐ)器的(de)關鍵特性,比如最高(gāo)頻(pín)率、功耗、發熱(rè)量等,并決定處理(lǐ)器的(de)等級,比如适合做(zuò)成最高(gāo)端的(de)Core i7-975 Extreme,還(hái)是低端型号Core i7-920。
25.裝箱
根據等級測試結果将同樣級别的(de)處理(lǐ)器放在一起裝運。制造、測試完畢的(de)處理(lǐ)器要麽批量交付給OEM廠商,要麽放在包裝盒裏進入零售市場(chǎng)。